Vous êtes ici : ILVFRPlateformes techniquesCEFS2

CEFS2 (XPS, Nano-Auger, SEM-EDS-EBSD)

Le Centre d'Etude et de Formation en Spectroscopies d'Electrons assure l’accès à la physico-chimie des surfaces prise sous toutes ses dimensions (haute résolution en énergie et environnement chimique, détection de trace, capacité d’accéder à la distribution de composition perpendiculairement à la surface, répartition dans le plan de la surface, accès à l’inhomogénéité jusqu’à des dimensions nanométriques, etc.). Il se compose de 3 spectromètres XPS, d'un spectromètre Nano-Auger et d'un SEM-FEG-EDX-EBSD.  
 
 
Un partenariat en physico-chimie des interfaces existe avec l’IPVF. Il se traduit par l’accueil à temps plein d’un post-doctorant sur le Projet I et l’installation sur le site de l’UFR des sciences de l’UVSQ (site de Versailles), d’une plateforme IPVF dédiée à l’analyse chimique de surface (XPS K Alpha+ et GD OES), avec le soutien fort du CNRS et de l’UVSQ. Cette plateforme IPVF est sous la responsabilité technique (maintenance, mise en œuvre et « relai » gestion) des ingénieurs CEFS2.
 

XPS

Les spectromètres XPS permettent d'obtenir une information élementaire et d'environnement chimique de matériaux divers (solides, poudres, polymères, etc.) avec une résolution latérale de 10 à 600 µm et une profondeur d'analyse inférieure à 10 nm. 
Des profondeurs supérieures sont atteintes par le profilage en profondeur par abrasion ionique (mono ou polyatomique). L'analyse angulaire est également possible. La compensation de charge permet l'étude de matériaux conducteurs mais aussi isolants.
 
 

 


 
 
 

L'appareil Escalab 250 Xi permet une très haute résolution en énergie . Une lampe helium permet d'effectuer des mesures de spectroscopies UV (UPS) donnant accès aux bandes de valence. L'utilisation d'ions légers Helium permet d'accèder à la composition de la première couche atomique (Low Energy Ion Scattering) . Un module REELS (Reflection Electron Energy Loss Spectroscopy) permet notamment d'accèder à l'hydrogène, élement non sondé par spectroscopie XPS.









L'appareil Theta Probe permet des analyses en profondeur dans les premiers nanomètres par résolution angulaire sans tilt.














L'appareil Nexsa permet grâce à sa taille de spot faible une résolution d'une dizaine de microns donnant accès à des cartographies chimiques élementaires et d'environnements.
 

Nano-Auger

Le spectromètre Nano-AES (+EDS) JAMP 9500 F permet des analyses qualitatives et quantitatives sur des matériaux essentiellement conducteurs. Plusieurs modes sont accessibles (pointé, ligne, cartographie). La profondeur d'analyse est inférieure à 5 nm pour une résolution latérale de 10 à quelques centaines de nanomètres. L'analyse angulaire est possible par tilt, en profondeur par abrasion ionique séquentielle et en volume par EDS (à partir de Na Z=11).

SEM-FEG/EDS et EBSD


Le microscope JSM 7001 F est équipé d'un détecteur EDS permettant des analyses qualitatives et quantitatives sur une profondeur de 300 nm à 2 µm et avec une résolution latérale micromètrique. Les modes pointés, lignes et cartographie sont accessibles. Il est également équipé d'un module EBSD permettant des analyses cristallographique (taille de grains, orientation, texturation) sur échantillons polis
 

Centre de formation en spectroscopies d'électrons


Universitaire, CNRS entreprises, conférences

Le Centre d'Etude et de Formation en Spectroscopies d'Electrons de l’Institut Lavoisier est ouvert à toute la communauté scientifique.


Responsables du centre:
Muriel Bouttemy
Mathieu Frégnaux